光隙法是凭借人眼观察通过实际间隙的可见光隙量的多少来判断间隙大小的方法。

光隙法测量是将刀口形直尺置于被测实际线上并使它与被测先紧密接触，转动刀口形直尺是它的位置符合最小条件，然后观察刀口形直尺与被测线之间的最大光隙，此最大光隙即为直线度误差。

当光隙值较大时，可以用量块或只是塞尺测出其值，光隙值较小时，可通过与标准光隙比较来估读出光隙量大小。还可以观察透光颜色判断间隙大小，若间隙大于2.5um，透光颜色为白色；间隙为1--2um时，透光颜色为红色；间隙为1um时透光颜色为蓝色；间隙小于1um时，透光颜色为紫色；间隙小于0.5um时，则不透光。